начало                       •         Санкт-Петербургский государственный университет                 •         Научный парк         •             тел./факс        


 ❋      Главная

 ❋      Оборудование

 ❋      Документы

 ❋      Сотрудники

 ❋      Направления исследований

 ❋      Публикации

 ❋      Контакты

 ❋      Вход в систему приема заявок

 ❋      Запись на выполнение работ

       

 ❋         English version

О Б О Р У Д О В А Н И Е

Система со сфокусированными электронным и ионным зондами QUANTA 200 3D (FEI , Нидерланды), на базе которой смонтирован аналитический комплекс Pegasus 4000 (EDAX, USA).

ВОЗМОЖНОСТИ СИСТЕМЫ QUANTA 3D

Микроскоп Quanta 3D DualBeam® представляет собой комбинацию двух систем:
  • растрового электронного микроскопа (РЭМ), дающего изображения разнообразных образцов в цифровой форме с увеличением более 100 000 крат
  • фокусированного ионного пучка (ФИП), способного быстро и прецизионно удалить слой материала образца, обнажить структуры под поверхностным слоем, создать сечение, осадить слой материала и.т.п. Кроме того, ионный пучок, также как и электронный, может создать изображение с высоким разрешением.
Интеграция обоих систем в одном приборе образует мощный аналитический инструмент, способный анализировать самые разные образцы в трёхмерном пространстве. Переключение между двумя лучами позволяет иметь с одной стороны быструю и точную навигацию, а с другой - возможность прецизионного удаления слоёв материала. Совмещение электронного и ФИП пучков на коротком рабочем отрезке позволяет проводить анализ в режиме “разрезал и увидел” с высоким разрешением. Рабочая станция предоставляет оптимальный уровень производительности, разрешения и автоматизации. Кроме того, совмещение ФИП и РЭМ технологий в одном приборе добавляет микроскопу новые возможности:
  • Создание электронным пучком изображения сечений, созданных с помощью ФИП без эрозии области интереса
  • Получение в реальном времени с помощью электронного пучка отдельных кадров и фильмов одновременно с удалением слоёв материала с помощью ФИП
  • Снятие заряда электронным пучком во время удаления материала с помощью ФИП
  • Проведение микроанализа элементов сечения дефекта
  • Получение изображений поверхности образца с помощью электронного пучка без эрозии или паразитной имплантации галлия ионным пучком
  • Подготовка образцов для просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ)

Подробнее о методах электронной и ионной растровой микроскопии

 

Nota bene

ИЗ ИЗБРАННОГО

  

 

 ❋    Геологические объекты

 ❋    Микроорганизмы

 ❋    Разное